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检查设备

检查设备如Capricorn自动外观检测设备，采用专用线阵CCD，适用于FPD制造过程中的外观检测。此外，光罩外观检查设备可高效识别光掩模及玻璃基板上的微小缺陷，满足高精细化工艺的检测需求。

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