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测定设备

在测定领域，精密坐标测定设备Mercury及更高精度的Mercury SHR，用于光掩模及基板的高精度坐标测量。同时，微小尺寸测定设备支持FPD关键尺寸的精确测量，为工艺控制与质量验证提供可靠依据。

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